概要

MSV-5000系列是测量紫外区域到近红外区域广范围波长领域内的微小样品以及微小部位的透过・反射测量的显微分光系统。广泛应用于电子元件及Diamond等的透过・反射特性的评价、半导体的能隙测量，计测膜厚、功能性结晶光学特性评价、色彩分析等领域。

型号

MSV-5100紫外可见显微镜

  200-900nm，光电倍增管检测器，用于紫外可见区域测量

MSV-5200紫外可见近红外显微镜

  200-2700nm，光电倍增管检测器和PbS检测器，用于紫外可见近红外区域测量

MSV-5300紫外可见近红外显微镜

  200-1600nm，光电倍增管检测器和InGaAs检测器，用于近红外区域高灵敏度测量

特点

・可以测量从紫外区域到近红外区域连续的透过･反射光谱

・搭载具有高波长分辨率和波长准确性的单色器

・双光束光学系统优异的测光稳定性

・测量领域尺寸最小φ10μm

・样品观测采用高解像度照相机画像

・标配偏光测量功能

・搭载自动XYZ样品台（选项）映射测量・多点测量

应用实例 

测量LCD面板的RGB滤光片

测量LCD面板用彩色滤光片的透过率

RGB的副像素为单位、光圈φ10μm测量透过光谱

LCD面板显微图像